目前國內(nèi)真空應(yīng)用領(lǐng)域，國產(chǎn)獲得產(chǎn)品占主導(dǎo)地位，如旋片泵、水環(huán)泵、滑閥泵、羅茨泵、蒸汽流真空泵等低端真空獲得產(chǎn)品在性能方面基本能夠滿足不同的工藝過程要求，在國內(nèi)市場占有率較高；部分產(chǎn)品出品的比例逐年增加。對于高端產(chǎn)品(指技術(shù)含量高的產(chǎn)品)無油真空泵(干泵等)，一直以來外商品牌產(chǎn)品在國內(nèi)市場占有率較高，但近幾年，國內(nèi)廠家在研發(fā)和生產(chǎn)有長足進展，紛紛推出各種類型的干泵產(chǎn)品，并以其較高的性價比，得到了用戶的廣泛認可，其市場占有率大幅度提高。

近十幾年，真空行業(yè)整體水平有大幅度提高，低端真空產(chǎn)品生產(chǎn)從設(shè)計水平到加工制造和性能都已趨向成熟，主要企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量比較穩(wěn)定，外觀質(zhì)量有了明顯的提高，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品有些技術(shù)指標(biāo)已接近或達到國際先進水平。過去長期存在的噴油、漏油問題近幾年得到一定的控制，泵的材料性能得到改善，目前，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品的總體質(zhì)量水平能夠達到現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的約90%左右，主要問題為抽氣速率偏低，噪聲、振動偏大。蒸汽流真空泵的總體質(zhì)量水平能夠達到現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的約占80%左右，主要問題為極限壓力達不到標(biāo)準(zhǔn)要求，10-2 Pa 時測量抽速壓力不穩(wěn)定，造成抽速無法測量。整體看產(chǎn)品長期運行的可靠性、噪聲和振動等性能與國外廠家產(chǎn)品相比有明顯差距。

高端真空獲得產(chǎn)品(無油泵)發(fā)展較快，廠家增加迅速，發(fā)展方向由單泵向多級組合，機組化方向發(fā)展，產(chǎn)品的真空性能趨于穩(wěn)定，產(chǎn)品質(zhì)量達到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，無油泵目前市場占有率大幅提升，整體性能水平接近國外產(chǎn)品。

存在的問題及原因分析

（1）偶有①旋片泵噴油漏油；②羅茨泵、滑閥泵、干泵噪聲高于國外先進產(chǎn)品；③擴散泵極限壓力達不到要求。真空閥門漏率達不到標(biāo)準(zhǔn)要求。

（2）國產(chǎn)真空泵與國外知名企業(yè)的泵相比普遍存在穩(wěn)定性和可靠性較差；真空行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)有些技術(shù)指標(biāo)制定的偏低，如滑閥泵比功率和噪聲指標(biāo)、擴散泵的主要技術(shù)指標(biāo)，并且內(nèi)容涵蓋的不夠全面，如羅茨泵的最高工作溫度、環(huán)保方面沒有規(guī)定，并且更新頻度有待加快?？傮w看國產(chǎn)真空泵的生產(chǎn)與國外先進水平相比在設(shè)計、加工制造、裝配、檢測等諸環(huán)節(jié)還有一定差距，但是經(jīng)過真空界的有識之士和廣大用戶的共同努力，這種差距正在不斷縮小。

原因：設(shè)計研發(fā)方面：自主創(chuàng)新投入差，缺乏自主創(chuàng)新設(shè)計，以模仿為主；選用的密封部件質(zhì)量不過關(guān)、加工手段較落后。

沒有有效的產(chǎn)品耐久性可靠性的檢測，產(chǎn)品可能發(fā)生故障不了解，沒有有效的技術(shù)跟進和技術(shù)改進，耐久性可靠性檢測因為試驗要花費大量時間和人力，在沒有強制要求的情況下，自覺的按標(biāo)準(zhǔn)要求去做的生產(chǎn)企業(yè)不多，而大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)不做任何可靠性試驗，或不嚴格按照現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的無故障運行期(類似壽命試驗)要求執(zhí)行，只在無負載情況下運行，沒有達到耐久性和可靠性試驗的要求。因此，產(chǎn)品的故障率較高。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂中顧及大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的技術(shù)能力，使有些技術(shù)指標(biāo)偏低和標(biāo)準(zhǔn)涵蓋不全。

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